真空鍍膜
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Ti/TiB2多層膜在Hank’s 模擬體液中耐蝕性研究
采用磁控濺射法在醫(yī)用鈦合金Ti6Al4V 和硅基體上沉積了Ti /TiB2多層膜。通過X 射線衍射儀分析了薄膜的相結(jié)構(gòu),采用掃描電鏡觀察了薄膜的表面形貌和斷面多層結(jié)構(gòu),利用電化學(xué)法研究了Ti /TiB2多層膜在Hank’s 模擬體液
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ZrB2體材及薄膜制備技術(shù)研究
本研究采用冷等靜壓成型加高溫?zé)Y(jié)的方法制備ZrB2塊材,并采用磁控濺射技術(shù)在UO2燃料芯塊表面制備ZrB2膜層,為一體化可燃毒物的制備奠定基礎(chǔ)。
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新型La2Zr2O7環(huán)境障涂層的1300℃熱沖擊行為研究
采用化學(xué)氣相沉積和原位合成工藝在Cf/SiC 基體上制備了Si/3Al2O3·2SiO2/La2Zr2O7 新型環(huán)境障涂層,研究了EBC 涂層在1300 ℃的抗熱沖擊性能。
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稀土Dy摻雜ZnTe薄膜光學(xué)性能及其XPS研究
本文利用真空蒸發(fā)雙源法制備了稀土元素Dy摻雜ZnTe薄膜,發(fā)現(xiàn)摻雜并沒有改變薄膜的物相結(jié)構(gòu),但對薄膜的結(jié)晶、形貌及光學(xué)性質(zhì)產(chǎn)生了明顯影響,為CdTe太陽電池背接觸層的進一步發(fā)展提供了實驗依據(jù)。
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雙排全幅寬無間隔布局快速蒸發(fā)ZnS鍍膜技術(shù)的研究
本文詳細介紹了雙排全幅寬無間隔布局快速蒸發(fā)ZnS 鍍膜技術(shù)的工作原理、結(jié)構(gòu)組成、性能特點和創(chuàng)新設(shè)計要點。分析并指出影響ZnS 鍍膜質(zhì)量、生產(chǎn)效益的主要因素和解決途徑。
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ITO 薄膜方塊電阻測試方法的探討
針對ITO 薄膜方塊電阻測試方法,文章探討了常規(guī)的四探針法與雙電測四探針法在實際生產(chǎn)中的適應(yīng)性、準(zhǔn)確性。根據(jù)玻璃基板上的ITO 薄膜和聚脂薄膜上的ITO 薄膜的結(jié)構(gòu)、物理特性不同特點,測試方塊電阻時應(yīng)注意的細節(jié)作
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共濺射法制備Cu摻雜ZnO薄膜結(jié)構(gòu)及性能的研究
本文通過采用新的制備方法(直流- 射頻雙靶共濺射)成功制備出Cu摻雜的p 型ZnO薄膜。并分析了Cu靶濺射功率與氧分壓對薄膜結(jié)構(gòu)及性能的影響。
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襯底材料對空心陰極沉積氫化微晶硅薄膜的影響
研究了襯底材料對微晶硅薄膜生長的影響,并在低溫下制備出微晶硅薄膜,這個對于柔性基材尤為重要。具有高等離子體密度和低電子溫度的空心陰極等離子體增強化學(xué)氣相沉積(MHC-PECVD)被用來生長微晶硅薄膜。
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Cu(In,Al)(S,Se)2薄膜的三靶共濺射制備與性能表征
本文采用磁控三靶(CuIn0.7Al0.3靶、Al靶、Cu靶)共濺射的工藝制備了CIA合金預(yù)制膜,以濺射的方式引入摻雜的Al元素。之后再經(jīng)過不同溫度和時間下的固態(tài)源硫硒化退火,以期研究制備出具有黃銅礦結(jié)構(gòu)特征的CIASSe薄膜。
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離子轟擊對HIPIMS制備TiN薄膜結(jié)構(gòu)和性能的影響
本文采用HIPIMS技術(shù)制備TiN薄膜,通過調(diào)整基底旋轉(zhuǎn)方式控制基體是否接受離子持續(xù)轟擊,進而研究離子轟擊對薄膜結(jié)構(gòu)、表面形貌以及性能產(chǎn)生的影響。
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活塞環(huán)表面CrMoN復(fù)合薄膜的結(jié)構(gòu)及摩擦學(xué)性能研究
本文采用閉合場非平衡磁控濺射技術(shù),通過改變Mo靶電流值大小在活塞環(huán)表面制備了不同Mo原子百分含量的CrMoN復(fù)合薄膜,并對其化學(xué)成分、相結(jié)構(gòu)、表面形貌進行研究。比較研究了電鍍Cr活塞環(huán)與CrMoN復(fù)合薄膜活塞環(huán)的硬度
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不同調(diào)制比NbSiN/VN多層膜微觀結(jié)構(gòu)、力學(xué)和摩擦性能研究
本文設(shè)計了不同VN膜層厚度的NbSiN/VN多層膜體系,研究不同調(diào)制周期的NbSiN/VN多層膜微觀結(jié)構(gòu),力學(xué)和摩擦性能。
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直流電弧等離子蒸發(fā)法制備納米銀粉及其表面改性
本文制備的銀粉平均粒徑為54nm,粒徑分布在5~220nm區(qū)間,測試其在無水乙醇中的pH-zeta電位,并系統(tǒng)研究了表面活性劑種類、加入量及超聲時間對銀粉分散性能的影響,將該粉體應(yīng)用在導(dǎo)電漿料中測試其電性能,并對其分散
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藍寶石鍍Ti/Ni復(fù)合膜及高溫預(yù)擴散的研究
本文主要研究了900 ℃ 下, 不同膜厚的鍍Ti/ Ni藍寶石在不同的保溫時間下的擴散效果, 研究了表面成分及微觀結(jié)構(gòu)與其鍍膜厚度的關(guān)系, 從而總結(jié)出藍寶石的最佳鍍膜厚度及高溫預(yù)擴散工藝規(guī)律,該規(guī)律對今后的實踐應(yīng)用
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微晶硅薄膜材料的沉積以及微結(jié)構(gòu)與光電特性的研究
本文采用RF-PECVD技術(shù),在較高的射頻功率和沉積氣壓條件下,通過改變硅烷濃度和襯底溫度等參數(shù),制備微晶硅薄膜材料。研究了沉積參數(shù)對微晶硅薄膜材料的微結(jié)構(gòu)以及光電特性的影響,并研究了它們光電特性及其相關(guān)性。
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等離子體增強原子層沉積系統(tǒng)及其應(yīng)用研究
關(guān)于ALD技術(shù)和工藝的研究已經(jīng)較為深入,關(guān)于PEALD技術(shù)和應(yīng)用的研究也越來越受到研究者的關(guān)注。為了深入研究PEALD的關(guān)鍵技術(shù)和工藝條件,作者設(shè)計了一套遠程脈沖PEALD系統(tǒng),并首次探索了其在原位沉積氮摻雜納米TiO2可
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外延BiFe0.95Mn0.05O3薄膜的結(jié)構(gòu)和性能研究
本文選擇用5%的Mn離子代替BiFeO3中的Fe離子,用磁控濺射的方法在SrTiO3單晶基片上外延生長了BiFe0.95Mn0.05O3薄膜,探索制備外延薄膜的最佳工藝條件,分析沉積溫度對薄膜結(jié)構(gòu)和電學(xué)性能的影響。
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