真空管道
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VCR&Swagelock連接
VCR通過(guò)雌雄兩個(gè)螺釘和金屬墊圈封止真空。Swagelock封止真空通過(guò)接觸的力量通過(guò)后方套圈的擠壓。VCR適用于超高真空,Swagelock適用于高真空。
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Clamp(卡箍)結(jié)構(gòu)圖與尺寸表
卡箍使用橡膠作為封口,因此不能耐高溫烘烤。因兩端接口法蘭不分雌雄,連接及拆卸比較簡(jiǎn)單。不足之處在于因?yàn)橛脪毒?因此兩端法蘭盤尺寸受到限制,而且固定強(qiáng)度也受到一定限制。
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ICF(ConFlat Flange)真空法蘭盤
ICF法蘭盤(ConFlat Flange)內(nèi)側(cè)有凸起的鋒利刀口,通過(guò)擠壓銅墊圈使其變形而達(dá)到密封真空的目的,是全金屬制的密封部件。ICF法蘭盤分為固定型,旋轉(zhuǎn)型,螺孔型和螺絲型。
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流導(dǎo)和流導(dǎo)幾率的概念和計(jì)算公式
流導(dǎo)是指在單位壓差下,流經(jīng)管路元件氣流量的大小。流導(dǎo)幾率也稱為傳輸幾率,其物理意義是氣體分子從元件的入口入射進(jìn)入元件能從管路元件的出口逸出的概率。
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