油封式旋片泵的結(jié)構(gòu)和抽氣過程示意圖

2014-09-27 郭方準 實用真空技術(shù)

  油封式旋片泵以油封式為特點,是最基本的真空泵之一,屬于低真空泵,工作壓強范圍是10-2~105Pa。油封式旋片泵可以單獨使用,也可以和其他高真空泵聯(lián)合使用,用來做粗抽或前級泵。粗抽是指從大氣壓開始的排氣過程。前級泵是指用以使另一個泵的前級壓力維持在其最高許可的前級壓力以下的真空泵。

  如圖1所示,油封式旋片泵主要由偏心轉(zhuǎn)子、旋轉(zhuǎn)翼和泵體所構(gòu)成。旋轉(zhuǎn)翼通過彈簧作用,和泵體內(nèi)壁一直保持接觸。電機帶動偏心轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動時,泵體和旋轉(zhuǎn)翼所包圍的空間體積不斷變化。體積增大時,從吸氣口吸氣;體積減小時,從排氣口排氣,從而達到獲得真空的目的。

  設(shè)旋轉(zhuǎn)翼旋轉(zhuǎn)一周的排氣體積為V,周期為T(頻率f=1/T),則排氣速度S的表達式為

S=V/T或 S=fV

  f用rpm(每分鐘轉(zhuǎn)數(shù))表示,V用L/r(升/轉(zhuǎn))表示,則S的單位是L/min。如果f=1800rpm,S=100L/min,則理想狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)翼旋轉(zhuǎn)一周的排氣體積V=0.056L。

  油封式旋片泵操作非常簡單,而且能夠在大氣壓下開始工作。但是油封式旋片泵使用的油會揮發(fā),進入真空腔體。為了避免油或其他液體進入真空腔內(nèi),不用油的干式真空泵(干泵)正在逐漸成為主要的粗抽用機械泵。

油封式旋片泵的結(jié)構(gòu)和排氣過程示意圖

圖1 油封式旋片泵的結(jié)構(gòu)和排氣過程示意圖

1—偏心轉(zhuǎn)子; 2—旋轉(zhuǎn)翼; 3—泵體