分子泵
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渦輪分子泵特性及磁懸浮技術的應用
介紹了渦輪分子泵的工作原理與基本結構特征,重點闡述了牽引式、渦輪式與復合式三種分子泵的結構、材料與性能特征,最后給出了基于磁懸浮技術的高轉速渦輪分子泵承載力計算方法。
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分子泵機組控制系統(tǒng)的設計
激光束在到達濾波器小孔位置時會發(fā)生空氣擊穿,因此管道內(nèi)必須達到一定的高真空,通過對選用的分子泵機組內(nèi)部控制電路的研究分析,設計了一套控制方案,很好地滿足了空間濾波器特定的使用要求。
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磁懸浮分子泵的振動抑制
磁懸浮分子泵中存在復雜的振動模態(tài), 影響了系統(tǒng)的穩(wěn)定性,針 對這些模態(tài)的特性, 精心設計控制器, 可以保證高速下系統(tǒng)的穩(wěn)定性。
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分子泵葉輪裝配過盈量設計與應力分析
動葉輪作為分子泵的關鍵部件,與芯軸過盈裝配,要求在高速狀態(tài)下仍保持一定的過盈量。本文計算了動葉輪在高速轉動時的徑向變形、過盈裝配時的初始應力狀態(tài)和轉動時應力狀態(tài)。
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