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新型槽式跟蹤太陽能集熱器的中高溫熱利用研究
采用新型導熱介質,主要介紹了集熱裝置的熱性能實驗方法,并著重對槽式跟蹤太陽能集熱器集熱性能進行了研究及分析,通過對槽式跟蹤熱管真空管集熱器理論值與試驗值的比較
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鎳硅顆粒膜的表面?zhèn)鲗щ娮影l(fā)射特性
提出采用鎳硅顆粒薄膜作為表面?zhèn)鲗щ娮影l(fā)射顯示的發(fā)射體材料,通過光刻和磁控濺射在兩電極(10 μm 間隙)之間制備30 nm 厚的鎳硅顆粒膜。
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鍍膜裝置蒸發(fā)源發(fā)射形態(tài)與膜厚分布
根據(jù)蒸發(fā)源與基片之間的物理聯(lián)系入手,分析基片- - 蒸發(fā)源距離對基片涂層均勻性的影響,進而對蒸發(fā)源與蒸發(fā)源、蒸發(fā)源與基片之間距離的確定,提出了自己的一些觀點和看法。
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磁控濺射鍍膜膜厚均勻性設計方法
在現(xiàn)有的理論基礎之上,對濺射鍍膜的綜合設計方法進行了初步的建立和研究,系統(tǒng)的建立可以采用“整體到部分,再到整體”這一動態(tài)設計理念,不斷完善設計方法,并將設計方法分為鍍膜設備工程設計、鍍膜工藝設計和計算
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PECVD法沉積氫化非晶硅薄膜內應力的研究
利用等離子體增強化學氣相沉積技術在硅基底上沉積了氫化非晶硅薄膜,通過納米壓入儀、電子薄膜應力分布儀、傅里葉變換紅外光譜儀等表征技術,研究了沉積時的工藝參數(shù)對薄膜內應力的影 響,對薄膜的本征應力、熱應力進
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